产品详细描述

在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。在过去的十年，光学掩模版图形的制作（PG）领域取得了显著的进步。图形可以方便地制作，用成象的方法或使一系列矩形图形精确地定位到铬片上。因为IC设计者设计的图形通常是多边型的，它们必须被分解成矩形，称作“分割”数据。关系图形产生器（OPG）的关键部件是光孔（或快门），和一个可移动的台阶。快门被安装在可移动的头上，它可以被旋转以获得需要的θ值，快门尺寸能够控制产生特定H、W的矩形来制作图形。用10×的镜头把矩形成像到一个镀有铬的玻璃圆片的光敏层上。用激光控制X－Y台面精确地定位圆片。由台面设置光孔所定义的矩形的中心坐标X和Y。光孔的尺寸可以控制在±7.5μm，导致掩模板上尺寸的±0.75μm的不确定性（缩小10倍后）。这是关键尺寸的控制。如果生产10×的掩模板，在硅片上产生±0.075的误差。除孔的尺寸产生的错误外，还有掩模板和硅片加工时产生的错误。由于台阶受激光控制，所以X，Y的定位错误非常小。当仍然会导致定位错误。这样的错误导致成品率的下降。
     OPG的成品率依赖于掩模板的复杂程度，数据分割程序的优化，和要求的定位精度。一个调制得很好的AZ1370机器在产生一个优化的图形时，有每小时 10,000的曝光产率。一个复杂的VLSI电路有超过100,000的的矩形，要求10个多小时生产一个掩模板。在这个期间要求温度的变化不能大于± 0.5F，这样才不增加定位错误。光学掩模板的质量不能被确定，直到铬显影、刻蚀后。在那时的探伤就是10小时工作的检验。
     电子束图形制作
     电子束曝光系统（EBES）起初由贝尔实验室在1970年开发。用光栅扫描
得到图形。光学掩模板制作商业化的说法是有意义的，而且在商业领域和掩模版
     光掩模版制作缺陷用传播光检查。在过去，这样的检查是由人工用显微镜来完成的。当掩模版变得越来越复杂的时候，这项工作由自动化工具完成，变得更迅速也更少有错误。这种系统能够在全片上检测缺陷的分布和尺寸。在光学透明衬底上，0.35μm的缺陷（例如针孔），用最先进的设计系统能够95%地检查出来。自动检查系统能够检查出细小的缺陷。掩模版制造者通常把一个掩模版在自动系统中检查若干遍，以保证所有的缺陷都能够被检查出来。市场上有许多种掩模版缺陷检查系统出售，包括KLA、KLARIS和CIC。
     图形从掩模版转移到硅片之前最后一次检查是用玻璃硅片，玻璃硅片上只有一些单元被曝光。一个掩模版自动检查系统在几分钟内使掩模版合格。这些玻璃硅片是硅片的复制品，通常有76、100、125、和150mm尺寸的，它的表面涂有一层铝膜。
     修复掩模版上的缺陷
     掩模版上的致命缺陷显然是不希望的，有可能因为掩模版上有一个缺陷而使整个掩模版没用。所以修复这些缺陷显得非常有必要。已经开发出一些掩模版修复方法。用激光修补不透明的掩模版已经使用若干年了（即把不需要的铬沾污去除）。一个聚焦的激光束仅仅能蒸发掉一些不需要的材料。激光蒸发可能对玻璃衬底产生潜在的破坏。大的铬沾污可能需要若干激光脉冲一去除它们，如果产生激光灼伤，将导致具有复制能力的缺陷。
     保护膜
     虽然在投影复印系统中掩模版的制造无缺陷（即在需要时采用修补技术），而且光掩模版和硅片接触时不产生破坏，但在传递过程中仍然可能导致掩模版缺陷。对于 1μm的分辨率，大得能够引起缺陷的微粒仍然难以检测和去除。所有在投影复印工艺中，用以保护掩模版不致缺陷的方法仍然迫切需要。一种有效的方法是应用保护膜。

一、用途及特点：对高精密的装配要求用冲压的工艺无法达到这样的要求，卓力达生产的防虫网精度高，采用的是化学蚀刻的工艺制作，蚀刻工艺解决了工业生产中对高精密零部件的要求，这种先进工艺制做的防虫网，最小孔径可以达到0.1mm，并且孔壁垂直，没有任何毛刺；平面度保持在0.02mm以下，最小公差可做到+/-0.01mm。
     二、生产能力：针对光学掩模板样品，卓力达配备有专业的样品制作小组，一般样品在2-3个工作日内完；针对烟感器防虫网批量产品我司以强大的技术力量（高级研发工程师8人，工程师16人，技术员20人）和先进以及高效的生产设备（进口卷对卷曝光机/卷对卷涂布线/进口蚀刻机）和专业的生产以及管理团队来保证产品的产能和质量
   三、交货方式：以安全，美观，环保的卓力达统一纸箱捆包，国内快递巨头顺丰速运24小时不间断发货，国内快递可在24小时内到达。
 
   四、质量保证以及售后服务承诺：所有光学掩模板产品在出货前均会经过严格专业的品质检验，确保发货到您手里的产品是合格产品。若客户对我司的产品提出质量异议，公司会在4小时内作出处理意见，若需现场解决，我司将派出专业技术人员及品质人员解决，不解决问题人员不撤离，对每次客户的质量问题及处理结果予以存档，以做培训和案例分析。

问：你们的蚀刻光学掩模板工艺成熟么？能批量化大规模生产么？同行为什么价格会更具优势？
答：YES，YES，我们是具有十多年蚀刻加工经验，有专业化的蚀刻技术团队。卓力达是加入PCMI蚀刻行业协会的公司之一，能随时接收协会的技术指导，工艺成熟。进口蚀刻生产线，大批量规模化生产，蚀刻自动化，避免更多人员操作，相对于同行，我们价格竞争力高。

问：和日本，美国蚀刻加工相比，你们为什么卖得更便宜？
答：国内的优势在于转变快，外加上人工，材料等成本相对于日本，欧美，我们更具优势。但是，我们并不是坐拥优势谋取暴利，而是将这部分省去的费用直接回馈给广大的客户，让每一个客户买到价廉物美的产品，真正做到为客户着想。

10多年的蚀刻经验，完善的售后服务。
用心服务，一要“真心”、“诚心”，即服务要从心灵沟通开始。只有用真心、用真诚去传情达意，才能使彼此的交流更为顺畅、更为高效、更为精彩。每一次心灵的交流和理解，都将打破心与心之间的隔阂，缩短心与心之间的距离，为下一步更高境界的心灵之旅做好铺垫。服务从心灵的沟通开始，是卓力达人对每一位客户的诚挚承诺。
用心服务，二要“倾心”、“热心”，即倾注全部心血和精力全心全意为用户服务，实心实意替用户着想。倾心、热心服务，要求我们必须变被动、生硬服务为主动、微笑服务，使“我对用户微笑”的同时，“用户也对我微笑”；心为用户所用，情为用户所系；急用户之所急，想用户之所想；想于用户未想之先，做于用户未做之前。
用心服务，三要“细心”、“耐心”，即细微处见真情，长期坚持见功夫。优质服务就是要从小事做起，从点滴做起，“勿以善小而不为”。细致入微，把一切细小的方面和环节都想到、做到；不厌其烦，耐心做到用户满意为止。这样，我们的服务就会尽善尽美，就不难与用户建立起牢不可破、长期共荣的相互关系，从而引导需求，满足需求。

公司设立在深圳特区，建筑面积6000多平方米，拥用现代化厂房以及生产和实验、检测设备。关键设备包括：进口蚀刻生产线，恒温恒湿无尘操作间，曝光机，显影机，二次元测量仪，自动脱膜生产线等。
卓力达所有光学掩模板产品出厂均经过生产巡检，品质检测，出库核实，层层把关，品质值得信赖！

深圳市卓力达电子有限公司 http://www.zldsmt.com
地址：深圳市宝安区福永镇新和村福园一路华发工业园A3栋
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