狭缝加工方法

狭缝是光谱仪的主要部件之一。狭缝是一条宽度可调、狭窄细长的缝孔。有固定狭缝，单边可调的非对称式狭缝和双边可调的对称狭缝。光辐射经光谱仪色散分光后的每条谱线，都是入射狭缝的像。进入单色器或从单色器出射的辐射能量，均由狭缝宽度调节。现代光谱仪中狭缝与光栅的转动耦合在一起，可自动调节。狭缝宽度的单位为μm，最大宽度为2mm。摄谱仪仅有入射狭缝，单色仪有入射、出射两个狭缝，多色仪有数个出射狭缝。

狭缝按功能区分，又可分为入射狭缝和出射狭缝。出射入射和中间狭缝是喇曼光谱仪的重要部分。入射、出射狭缝的主要功能是控制仪器分辨率，中间狭缝主要是用来抑制杂散光。对于一个光谱仪，即使用一绝对单色光照射狭缝，其出射光也总有一宽度为Δυ的光谱分布。这主要是由仪器光栅，光学系统的象差，零件加工及系统调整等因素造成的，并由此决定了仪器的极限分辨率。在实际测量中，随着狭缝宽度加大，分辨率还要线性下降，使谱线展宽。

狭缝的制作方法有以下几种：

一、简单加工

线切割：此种工艺加工的狭缝，狭缝周边会有一些缺陷。由于线切割会产生一些油污等，需要后期清理，清洗要干净。另外，线切割由于丝的快慢直接影响到缝的垂直边的直线度，所以尽量用使用慢走丝加工。关键处的下刀和收刀的口的衔接部份，需要后期毛剌的抛光处理。相对来说效率比较低，而且对于一些超薄材料的加工，不太适合。线切割加工的缝隙宽度一般都在0.2mm以上，对于一高精密的狭缝是不能满足要求的。

二、有难度激光加工

激光加工狭缝比线切割的效率要快。但也存在切割加工的一些不足，比如：下刀和收刀口的棱边处理。由于激光是通过光温烧切材料，容易在缝的周边存留一下残渣，残渣的颜色都是黑色，而且很难清理。激光加工的最小的缝可以达到0.1mm，甚至更小的缝。但是，放大N倍后，波浪纹的存在是其最大的缺陷。另外，激光加工狭缝容易通过高温改变材料的性质，对于一些特殊材料的材料，容易产生影响。

三、替代方案：蚀刻加工

蚀刻加工狭缝目前为数不多，而且要达到的微米级的加工企业更不多。卓力达是目前业界通过蚀刻加工狭缝的知名企业。蚀刻加工狭缝是，是以不锈钢，铜等金属材料为原料，材料厚度也限制了这种工艺可以加工的最小缝隙。卓力达目前使用0.03mm厚的材料，加工0.05mm最小的缝隙。如果缝宽加大的话，可使用材料厚度选择范围更大。比如：加工0.2mm的缝，那么材料厚度从0.03至0.1mm均可使用。方便客户后期的狭缝的装配，固定。卓力达加工狭缝精度最高可达+/-0.005mm，也是目前光谱仪等设备首选部件。独刻加工完后的狭缝可以整板就行发黑处理，大大提高产品的利用率和生产效率。

四、电子束加工

电子束加工的最大优点是可以加工极小的狭缝，加工的材料也有多种，金属和非金属都可行。但是，电子束加工的难度相当高，而且成本比前三种大大高出很多倍，性价比很低。由于这种工艺可加工的狭缝可达到几微米，应用的范围也较小，主要是针对高端市场产品而用。

五、可调狭缝

顾名思义，就是作两片边缘非常整齐的片，使用工具制作一种可调整缝宽的狭缝。

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