定制金属掩模板，不锈钢掩模板，热蒸发及磁控溅射蒸镀太阳能电池LED用Mask

卓力达公司长期供应高精度金属掩模板，不锈钢掩模板，价格实惠，量大从优。
产品可以应用于电子束蒸发，热蒸发，磁控溅射等设备中，用来制备太阳能电池，光电探测器，LED，激光器，场效应晶体管等各种器件电极及各种薄膜材料图形设计。
我们已与北京大学，清华大学，中科院苏州纳米所，中科院深圳先进院，兰州物化的，合肥物质所，武汉大学，华中科技大学，中科院昆明植物研究所，北京航空航天大学，山东大学，浙江大学，吉林大学，华南理工，中山大学，东南大学，苏州大学，太原理工大学等国内众多的高校和科研院所以及高技术企业形成了长期合作关系，积累了丰富的设计和制备经验，具备诸多优势。
卓力达公司的掩模板制备工艺主要采用曝光腐蚀工艺（与光刻法在硅表面制备高精度的图案类似），这种方法可以根据客户要求灵活设计各种图案，且制备出来的图案尺寸标准。我们的图案尺寸精度可以达到0.01mm以上，边缘锐利无毛刺，开孔直线度好，真圆度好。

在材质的选取方面，我们选用高韧性的SUS304 H不锈钢材料，这样做出来的掩模板不但精度高，而且表面光滑，产品不易受弯折而变形，经久耐用，同时还能够让掩模板与器件保持很紧密的贴合，减少阴影效果。
我们所采用的不锈钢厚度包括0.03mm,0.05mm,0.06mm,0.08mm到1 mm的各种尺寸，采用较薄的不锈钢制备出来的掩模板所产生的阴影效果会更少,扰度更可控。
本公司承接各种图案定制，客户最好能提供包含尺寸的CAD版设计图。如果画图实在有困难，我们可以根据客户描述来绘制，同时我们还能对客户的掩模板设计提供一些建议。
下面先举几个掩模板的实例，后面再解释几个掩模板的设计技巧。
如下图所示是各种图案实例。

上图为各种图形的实例，实际上可做的图形图案种类更多

如下图所示是各种栅线电极图案及其对应的设计图，图中掩模板尺寸为9cm*9cm,栅线最小尺寸为0.1mm。

上图为设计的掩模板的尺寸图，其中对缝隙的要求比较高，不可以在缝隙中产品毛剌，凸点，缺口，否则会对掩模图形产生扰度

下面图为对应的图纸加的实物图片

以下为各种的掩模板图纸和实物相应的对照图，即用我们的蚀刻工艺，可以最大程度的节省成本，完成掩模板的制作。

以上为掩模板实物对比图二，下面增加另一种图案对比

 下图是掩模板的侧面图，所用的不锈钢厚度为0.1mm。

掩模板设计技巧

      如果客户自己的设备有较好的样品架，可以只考虑做一片上面所示的单片掩模板就行。如果没有较好的固定器件的方案，建议采用我们的叠层设计法。下面以0.1mm的栅状电极为例进行详细说明。

   如图所示，客户可以设计四种不锈钢片，其中右下角的为带电极图案的掩模板。右上角为固定器件的方格板，我们将方格板用螺丝固定到掩模板上面就可以防止电池片的左右移动。方格板的厚度可以根据器件的厚度来定制，如图中所示的方格板就是可以放入厚度为0.5mm，边长为1*1cm的电池片共16片。客户还可以一次性设计几个不同厚度的方格板，这样自己就可以通过将不同厚度的方格板叠合在一起形成任意组合的厚度，以便于用于不同厚度器件的电极蒸镀。如果想进一步固定电池，则可以设计一个如左下角一样的光板覆盖到方格板上面，这样一方面能完全将器件固定，在一些需要将掩模板竖放或反放的设备中可以让器件不掉或松动；另一方面还能在蒸镀电极时防止器件背面被金属蒸汽污染。另外，由于掩模板比较薄，若面积过大可能会发生一定的弯曲，客户还可以设计如左上角所示的掩模板固定片压住下面的掩模板，或者通过设计更加密集的螺丝孔，使掩模板更加平整稳固。

上图给出了另外一种叠层型掩模板的例子。这是用于制备有机太阳能电池中的条状电极设计的，照片中的第一排放置了两片ITO玻璃片。值得指出的是，为便于用镊子等工具对器件进去夹取，客户可以在固定用的方格板上设计如图所示的半圆形缺口。

上面的掩模板设计图如下，其中用于固定的方格板厚度为1mm，而掩模板的厚度为0.2mm。

  由于篇幅有限，上面只列举了几个简单的例子，大家可以和我们联系索要更多的图案实例和设计技巧。后期我们将制作跟多掩模板设计技巧和电极蒸镀技巧，同时欢迎访问我们的淘宝宝贝页面进行更多了解：http://www.zldsmt.com

另外，卓力达还承接各种精细金属，高端蚀刻产品的定制，加工。部份样品如下：

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