化学蚀刻加工是以零件的原始表面为基准，并不像大多数的机械加工方法那样，是以金属切削机床的基准面来作为加工基准，其加工偏差只受机床固有的加工精度的影响。因此，化学蚀刻加工所能达到的加工公差主要受一下几个方面因素的影响。

1. 零件材料的影响：同一种材料所产生不同的蚀刻速度及效果，使其在同一个腐蚀液中也会具有不同的腐蚀公差。

2. 零件尺寸大小的影响：零件尺寸越大，在腐蚀槽中所处的位置不同，因而各部分出现腐蚀差异的可能性就更大，主要表面是蚀刻速度的差异。

3. 零件悬挂方式的影响：一个大型的板材零件如果是垂直放于腐蚀槽中，经腐蚀后会出现下薄上后的锥形，所以在计算公差时也应把这种由腐蚀加工本身造成的公差计入总公差。

4. 腐蚀剂的影响：必须要严格控制腐蚀液化学成分的浓度范围，保持腐蚀剂在腐蚀槽中各部分的温度分布均匀，保持腐蚀液在腐蚀槽中各部分浓度均匀。

5. 腐蚀加工深度的影响：腐蚀加工深度越深，零件在腐蚀液中浸泡时间越长，而时间越长，蚀刻液各种化学成分的变化也越大，进而使蚀刻速度及腐蚀效果的变化增大。

6. 样板精度及图形转移精度的影响：一、刻划图形所使用的样板，这种样板的精度受样板加工成本的影响很大。二、用于照相及丝印图形转移所用的照相底片，照相底片可以很高的精度，特别是对照相图形转移可以做到和照相底片几乎完全一样的图形转移精度。

7. 腐蚀加工过程的影响。要保证腐蚀水平的精度，必须通过实验确定侧蚀率，并以此确定图形样板的精确尺寸范围。由于化学蚀刻在水平方向上变化的影响，所以用于加工尺寸非常精确的凹槽或凸肋都是不可取的。由于水平方向公差要求在±0.25mm-±0.5mm范围内的加工得到了广泛应用，特别是飞机工业、舰船等特殊行业大量使用。

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