
网孔蚀刻加工是一种通过化学或物理方法在金属、合金或其他材料表面精确加工出密集网状小孔的工艺。以下是关于网孔蚀刻加工的详细介绍:
一、网孔蚀刻加工流程
1.材料预处理
清洁基材表面,去除油污、氧化层。
干燥后涂覆光刻胶,确保均匀覆盖。
2.图案化处理
曝光:使用带有网孔设计的掩膜覆盖材料,通过紫外光曝光(光刻工艺)或激光直接成像将图案转移到光刻胶上。
显影:溶解未固化的光刻胶,露出需要蚀刻的区域。
3.蚀刻加工
化学蚀刻:浸入蚀刻液,腐蚀暴露区域,形成网孔。
参数控制:调整温度、浓度、时间以控制蚀刻深度和孔壁质量。
电解蚀刻:适用于高精度需求,通过电流加速蚀刻过程,提高均匀性。
4.后处理
去除残留光刻胶。
清洗、抛光或钝化处理(如不锈钢需酸洗钝化防锈)。
质检(显微镜检查孔径、孔距、表面光洁度)。
二、网孔蚀刻应用领域
工业过滤:石油化工用高精度滤网、汽车燃油滤芯。
电子器件:射频屏蔽网、散热片。
医疗设备:手术器械筛板、植入物表面微孔结构。
装饰工艺:建筑幕墙镂空装饰、工艺品纹理。
航空航天:轻量化结构件。
三、环保与安全
废液处理:中和酸性/碱性蚀刻液。
替代工艺:水刀切割或激光加工。
四、网孔蚀刻加工常见问题与对策
孔边缘毛刺:优化蚀刻液配方,添加缓蚀剂;或电解抛光后处理。
蚀刻不均匀:改进掩膜设计,增加导流槽,调整蚀刻槽搅拌方式。
材料变形:薄板材料需使用夹具固定,避免应力集中。
五、网孔蚀刻加工技术趋势
高纵横比蚀刻:通过脉冲蚀刻或超声波辅助实现深孔加工。
智能化控制:传感器实时监测蚀刻速率,AI动态调整工艺参数。
绿色蚀刻剂:开发可循环利用的生物降解蚀刻液。
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