显影液浓度及温度的控制

文章出处：本站　　责任编辑：Editor　　人气：6172　　发表时间：2012-3-18 11:55:45　　【大中小】

显影液浓度：

目前业界常用的显影液是以无水碳酸钠加纯水配制而成，浓度一般为1-2%（质量比），但为了细线路的制作，缓和反应速度，降低Under-cut,现在显影液的浓度多控制在1.0%±0.2%。较高蚀刻药液浓度可允许较高干膜负荷量，但不容易清洗干净，且操作范围较小；反之，过低的药液浓度所能承受的干膜负荷量较小。因此，正确的蚀刻显影液药液浓度应与干膜厂商研究，依照其干膜特性来配制。而蚀刻药液浓度的检验可利用酸碱滴定来分析。重点是：为维持槽液浓度的稳定性，确保显影品质，必须设置自动添加，一般以侦控槽液的PH值作自动添加，或计片、计面积添加。

显影液温度：

显影液温度是影响显影速度的最大变数，一般都控制在30±2摄氏度，需依干膜种类而定，由于操作时蚀刻药液因泵浦的压缩作用产生大量的热能会促使温度升高，致使有显影过度的可能，因此显影槽需加装冷却水管来保持适当的温度；而温度过低时，又可能造成显影不洁，因此需加装加热器使温度能达到操作范围，而得到最佳的显影效果。

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